氣體質量流量控制器

簡要描述：

氣體質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量流量。D07-9產(chǎn)品是七星流量計研發(fā)精度高、響應時間快的模擬產(chǎn)品。

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D07-9氣體質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量流量。D07-9產(chǎn)品是七星流量計研發(fā)精度高、響應時間快的模擬產(chǎn)品。

優(yōu)勢

• 中流量型
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 分流器不易堵塞
• 采用DB15型電插頭，標準機械接頭

D07-9氣體質量流量控制器技術參數(shù)

項目	D07-9E 型	D07-9EM 型	D07-9F 型	D07-9FM 型
流量規(guī)格	( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM	( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM	0~20,30,50,100,150,200,250 SLM	0~20,30,50,100,150,200,250 SLM
準確度	±2 % F.S.	±2 % F.S.	±2% F.S.	±2 % F.S.
線性	±1 % F.S.	±1 % F.S.	±1% F.S.	±1 % F.S.
重復精度	±0.2 % F.S.	±0.2 % F.S.	±0.2% F.S.	±0.2 % F.S.
響應時間	(1 ~ 4) sec	(1 ~ 4) sec	≤ 4sec	≤4 sec
工作壓差范圍	20 , 30 SLM: (0.05 ~ 0.30) MPa （7.3~43.5 psid） 50,150 SLM: (0.10 ~ 0.30) MPa （14.5~43.5 psid） 200,250 SLM: (0.15 ~ 0.30) MPa （21.8~43.5 psid）	-	20,30 SLM: (0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid) 50~150 SLM: (0.10~0.30) MPa (14.5~43.5 psid) 200,250 SLM: (0.15~0.30) MPa (21.8~43.5 psid)	-
氣壓降	-	20~100SLM: <0.02 MPa （2.9 psid）; >100SLM: <0.05 MPa （7.3 psid）	-	20~100SLM: <0.02 MPa (2.9 psid); >100SLM: <0.05 MPa (7.3 psid)
大工作壓力	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
耐壓	3 MPa （435.1 psig）	3 MPa （435.1 psig）	3 MPa (435.1 psig)	3 MPa (435.1 psig)
工作環(huán)境溫度	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5℃ ~ 45℃	5 ℃ ~ 45 ℃
輸入輸出信號	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)	4~20 mA 或 1~5 VDC	4~20 mA 或 1~5 VDC
電源	+15 V 50 mA -15V 400 mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA	24VDC 400 mA	24 VDC 100 mA
重量	2.6 kg	1.5 kg	2.6 kg	1.5 kg