一般情況下，流量計訂購時需提供被測氣體種類、工作壓力點和溫度點，廠家在出廠前會對流量計進行標定，使其在要求的工作環境下滿足測量精度要求。對于大部分工業應用，氣體種類和氣體工作壓力可以很好控制，但氣體溫度往往隨著環境溫度變化而變化，從而引起測量誤差。因此，當被測氣體狀態發生改變時，需要對這些變化進行補償。

　　使用環境溫度過高或過低

　　一般熱分布式氣體質量流量計的正常使用環境溫度為－10～70℃，使用環境溫度過高(＞70℃，如發動機艙室內)或過低(＜－10℃，如北方寒冷地區)也會影響熱分布式氣體質量流量計的測量精度。因為熱分布式氣體質量流量計的測量原理是基于毛細測量管的溫度變化，并且毛細測量管上發熱繞組的發熱量很小，外界環境溫度過高或過低會影響毛細管的溫度分布。雖然流量計廠家在設計時已經對毛細測量管采取了一定的保溫措施，以減少毛細測量管和外界環境之間的對流換熱和輻射換熱，但是當外界環境溫度過高或過低時，從流量計殼體熱傳導過來熱量也會影響毛細測量管上溫度分布，從而影響氧流量計精度。

　　流量計被堵塞也是導致流量計測量偏差的原因。當層流阻流件被雜質堵塞后，主流道內流阻增加，實際流量減小，測量值比實際值偏大;當毛細測量管被雜質堵塞后，毛細測量管內流量減少，導致測量值比實際值小。

　　目前熱分布式氣體質量流量計在使用時，上游均會安裝濾器防止雜質堵塞流量計，因此該類故障較少發生。但是需要注意的是在流量計在定期標定往返途中的防塵保護，以及需要定期清洗流量計上游的濾器。

　　其他

　　除以上故障原因外，熱分布式氣體質量流量計在使用過程中還存在電路板損壞導致無信號輸出、傳感器故障導致零點存在偏差、以及電子元器件老化(尤其是發熱繞組的老化，導致繞組的發熱功率和電阻產生變化)導致流量計測量精度下降等故障原因。這些故障發生概率較低，出現故障后選擇返廠維修處理。